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HL: Halbleiterphysik
HL 38: Poster III: Transporteigenschaften (1-14), Optische Eigenschaften (15-31), Grenz-/Oberfl
ächen (32-44), Heterostrukturen (45-57), Bauelemente (58-67), Gitterdynamik (68-69), Diamant (70), Raster-Tunnel-Mikroskopie (71)
HL 38.67: Poster
Thursday, March 30, 2000, 14:00–19:00, B
„Mikro-Touchscreen“ zur ortsaufgelösten Bestimmung kleinster Massenbeläge — •A. Rathgeber, F. Beil, M. Streibl, H.-J. Kutschera und A. Wixforth — CeNS und Sektion Physik der LMU, Geschwister-Scholl-Platz 1, 80539 München
Akustische Oberflächenwellen auf piezoelektrischen Substraten werden durch äußere Randbedingungen, wie zum Beispiel freie Ladungen in der Nähe der Oberfläche oder auch Massenbelag an der Oberfläche in ihren Ausbreitungseigenschaften deutlich beeinflußt. Durch die Verwendung neuartiger Schallwandlerstrukturen ist es nun möglich geworden, solchen Massenbelag (z.B. Adsorbate oder punktuelle Auflagekräfte) auch ortsaufgelöst nachzuweisen und darzustellen. Hier macht man von der Tatsache Gebrauch, dass die Position des Schallpfades über die Frequenzselektivität der Schallwandler senkrecht zur Ausbreitungsrichtung verschoben werden kann. Wir demonstrieren einen solchen „Mikro-Touchscreen“, mit dem lokal auf einer aktiven Fläche von ca. 200×200 µm2 und mit einer Ortsauflösung von wenigen Quadratmikrometern mechanische Belastungen der Probenoberfläche nachgewiesen werden können. Mögliche Anwendungen werden diskutiert.