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M: Metallphysik

M 14: Postersitzung

M 14.2: Poster

Thursday, March 30, 2000, 15:00–19:00, C

Mikrocharakterisierung der Interreaktion von Al/Ag mit der Tomographic Atom Probe-TAP — •Joerg Schleiwies und Guido Schmitz — Universitaet Goettingen, Institut fuer Materialphysik, Hospitalstr. 3-7, 37073 Goettingen

Obwohl intensiv untersucht, ist die Interreaktion von duennen Schichten ein kontrovers diskutiertes Feld. Sie wird in der Regel als eindimensionaler Prozess betrachtet, mit planarer Reaktionsfront. Die Diffusion erfolgt in Richtung der Frontnormalen und kinetische Barrieren

sind fuer die Auswahl der gebildeten Phase verantwortlich. Diese Modellvorstellung vernachlaessigt allerdings die reale Mikrostruktur. Am Modellsystem Al/Ag wird mit Hilfe der Tomographischen Atomsonde (TAP)

der Einfluss der Mikrostruktur auf die Interdiffusion und Interreaktion gezeigt. TAP-Messungen ermoeglichen quantitative chemische und strukturelle Analysen auf nm-Skala. Untersucht wurden gesputterte Al/Ag-Bilayer. DSC-Messungen von Roy und Sen [1] zeigen, dass bei Waermebehandlungen ueber 160C nur eine GG-Phase (hcp γ)gebildet wird. Die TAP-Untersuchungen von getemperten Proben zeigen nach vorheriger Interdiffusion auf wenigen nm deutlich die Al-Diffusion in den Korngrenzen der Ag-Schicht. Ausgehend von diesen breiter werdenden Diffusionszonen, bildet sich interessanterweise als erstes Reaktionsprodukt eine metastabile Phase mit 66 at.-% Al, aehnlich den GP-Zonen, die bei Al-Ag-Entmischungsuntersuchungen festgestellt worden sind.

[1] R.Roy, S.K. Sen, J.Mat.Sci. 27 (1992) 6098

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