Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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M: Metallphysik

M 2: Innere Grenzflächen

M 2.2: Vortrag

Montag, 27. März 2000, 10:30–10:45, H6

Mechanische Eigenschaften von Silberschichten auf Silizium — •Frank Klose, Ulrich Harms, Attila Nagy und Hartmut Neuhäuser — Institut für Metallphysik und Nukleare Festkörperphysik, TU-Brauschweig; Mendelssohnstr. 3; 38106 Braunschweig

Mit der Vibrating Reed Technik wurden Silberschichten auf Silizumsubstrat untersucht. Die Kombination von Biege- und Torsionsschwingungen (im Frequenzbereich von 100 Hz bis 10 kHz) erlaubt eine Trennung von Schermodul und biaxialem Modul der Schicht. Damit läßt sich die Querkontraktionszahl des Films bestimmen. Auch die Dämpfung läßt sich für die beiden Moduli trennen. Ursächlich für die Dämpfung erscheinen danach Korngrenzen und Stapelfehler bzw. Teilversetzungen. Weitere Meßgrößen sind der temperaturabhängige Youngsche und der Schermodul sowie die mechanische Spannung bei verschiedenen Temperschritten. Die Vibrating-Reed-Messungen werden durch Informationen aus TEM-, AFM- und SEM- Aufnahmen ergänzt.