Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.101: Poster

Montag, 27. März 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Ionenstrahlinduzierte Carbidisierung an der Grenzfläche von Titan und Kohlenstoff — •J. Luthin, H. Plank, J. Roth und Ch. Linsmeier — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Association, Boltzmannstrasse 2, D-85748 Garching b. München, Germany

In diesem Beitrag wird die Carbidbildung durch Beschuß der Grenzfläche

von Titan und Kohlenstoff mit Edelgasionen (Ar⁺ und He⁺) beschrieben. Dazu werden Ti-Schichten auf Graphit bzw. C-Schichten auf Titan mit einem Elektronenstrahlverdampfer aufgebracht und anschließend mit Ionen beschossen. Die Energie der verwendeten Edelgasionen liegt zwischen 0,5 keV und 4,0 keV. Mit Röntgen Photoelektronenspektrosokopie (XPS) wird die chemische Zusammensetzung der Schichten während der Schichtherstellung und während der Anfertigung von Tiefenprofilen analysiert. An der Grenzfläche zeigt sich die Bildung von Titancarbid, wobei die Carbidmenge mit zunehmender Ionenenergie ansteigt. Bei 4,0 keV Ar⁺ Ionenenergie findet eine vollständige Carbidisierung der aufgedampften Schichten statt.