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Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 11: Postersession (Eröffnung)

O 11.146: Poster

Montag, 27. März 2000, 19:00–22:00, Bereich C

Untersuchungen über die Stufenbündelung der Si(111)-Vicinalfläche mit hochauflösender Beugungsanalyse (SPA - RHEED) — •H. Frischat1, M. I. Larsson2 und M. Henzler11Institut für Festkörperphysik, Universität Hannover, Appelstraße 2, 30175 Hannover — 2Department of Natural Science, Karlstad University, S-651 88 Karlstad, Schweden

Mit dem neuentwickelten Instrument für die Reflexprofilanalyse der Beugungsmuster von hochenergetischen Elektronen (SPA-RHEED) besteht die Möglichkeit, Schnitte in beliebiger Orientierung im reziproken Raum aufzunehmen. Die Verbesserung der Auflösung in einer Richtung um mehr als eine Größenordnung auf 5 µ m Transferweite wird direkt im Bild sichtbar. Damit wird die durch Elektromigration hervorgerufene Stufenbündelung von schwach fehlgeneigten Si(111)-Oberflächen (Miscut 0,4) im Temperaturbereich von 830C bis 1250C untersucht.

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