Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 11: Postersession (Eröffnung)
O 11.76: Poster
Montag, 27. März 2000, 19:00–22:00, Bereich C
Entwicklung und Aufbau eines Nahfeldmikroskops für mikrostrukturierte Apertursonden — •Norbert Kerwien1, M. Wellhöfer2, W. Ibach1, O. Marti1 und O. Hollricher1,2 — 1Universität Ulm, Experimentelle Physik, Albert-Einstein-Allee 11, 89081 Ulm — 2WITec GmbH, Hörvelsinger Weg 6, 89081 Ulm
Bei unserem Aufbau wird ein konfokales Auflichtmikroskop mit einem SNOM-Kopf in Form und Größe eines Mikroskopobjektives kombiniert. Dadurch lassen sich die Stärken beider Methoden in einem Gerät vereinigen. Sowohl für die konfokale als auch für die Nahfeldmikroskopie wird derselbe Scantisch verwendet, so daß die Probenstelle mit beiden Methoden untersucht werden kann.
Bisher wurden für die Nahfeldmikroskopie überwiegend gezogene und bedampfte Glasfasern verwendet. Bekannte Nachteile sind die schwierige, schlecht reproduzierbare Herstellung (Einzelstückfertigung) sowie die geringe Transmission. Da die Glasfasern sehr steif in vertikaler Richtung und damit sehr bruchempfindlich sind, muß sehr langsam gescannt werden.
Aus diesen Gründen verwenden wir in unserem Aufbau mikrostrukturierte Apertursonden, die sich reproduzierbar in großen Stückzahlen herstellen lassen. Das Cantilaverdesign sorgt für hohe Festigkeit, insbesondere gegenüber Stößen in vertikaler Richtung. Zur Abstandsregelung verwenden wir das bei der Kraftmikroskopie gängige Lichtzeigerprinzip.
Mit diesem Aufbau erreichen wir eine optische Auflösung von bis zu 40nm bei einer Anregungswellenlänge von 532nm (λ/13). Typische Scangeschwindigkeiten betragen 1 s/Zeile.