Regensburg 2000 – scientific programme
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O: Oberflächenphysik
O 31: Nanostrukturen
O 31.1: Talk
Thursday, March 30, 2000, 16:15–16:30, H36
STM–induziertes Wachstum von Mo–Nanostrukturen auf Si(111)–(7×7) — •U.R. Schöffel, H. Rauscher und R.J. Behm — Universität Ulm, Oberflächenchemie und Katalyse, 89069 Ulm
Wir berichten über die Erzeugung von Molybdän–Nanostrukturen mit lateralen Abmessungen von wenigen Nanometern auf Siliciumoberflächen durch Zersetzung des Moleküls Mo(CO)6 in einem Rastertunnelmikroskop (STM). Die Mo(CO)6–Moleküle physisorbieren bei Raumtemperatur auf der Si– bzw. Spitzenoberfläche und werden durch Wechselwirkung mit dem elektrischen Feld und den aus der Spitze emittierten Elektronen zerlegt. Die dabei entstehenden hochreaktiven Fragmente bilden direkt unter der Tunnelspitze die Nanostruktur. Der Wachstumsmechanismus dieser spitzeninduzierten Mo(CO)6–STM–CVD wird anhand der Abhängigkeit der Depositionsmenge von den Tunnelparametern diskutiert und mit früheren Messungen zur STM–CVD mit den Precursorgasen SiH4 bzw. GeH4 verglichen.