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O: Oberflächenphysik

O 31: Nanostrukturen

O 31.2: Talk

Thursday, March 30, 2000, 16:30–16:45, H36

Elektrochemische Mikrostrukturierung — •Viola Kirchner¹, Rolf Schuster¹, Philippe Allongue² und Gerhard Ertl¹ — ¹Fritz–Haber–Institut der MPG, Faradayweg 4–6, 14195 Berlin — ²CNRS Paris

Durch ein elektrochemisches Verfahren mit ultrakurzen Spannungspulsen können dreidimensionale Mikrostrukturen direkt und mit hoher Präzision hergestellt werden.

Konventionelle Elektrochemie erreicht nur eine geringe räumliche Genauigkeit, weil die lokale Ätzrate von der Stromdichte im Elektrolyten bestimmt wird und linear vom Elektrodenabstand abhängt. Arbeitet man aber mit ultrakurzen Pulsen und geringen Elektrodenabständen, kann man die abstandsabhängige Ladezeit der Doppelschichtkapazitäten an den Elektroden ausnutzen.

Durch Anlegen von Spannungspulsen mit ns Dauer werden nur Elektrodenbereiche vollständig umgeladen, die einen µm kleinen Abstand voneinander haben. Elektrochemische Reaktionen sind dadurch auf diese Elektrodenbereiche beschränkt. Da die Ätzraten in diesem Verfahren exponentiell vom Elektrodenabstand abhängen, läßt sich eine Genauigkeit von unter einem µm erreichen. Metalle und Halbleiter können so bearbeitet werden.