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O: Oberflächenphysik
O 33: Oxide und Isolatoren (II)
O 33.6: Talk
Thursday, March 30, 2000, 17:30–17:45, H44
Oxidation von CoGa untersucht mit oberflächensensitiver Röntgenstreuung — •Reinhard Streitel1, A. Stierle1, F. U. Renner1, H. Dosch1 und R. Franchy2 — 1Max-Planck Institut für Metallforschung, Heisenbergstraße 1, 70569 Stuttgart — 2Institut für Grenzflächenforschung und Vakuumphysik Jülich, D-52425 Jülich
Die Oxidation von Legierungsoberflächen ist für verschiedene
technologische Anwendungen wie z.B. katalytische Prozesse und
mikroelektronische Sensoren von großem Interesse.
Mittels oberflächensensitiver Röntgenstreuung wurde das Wachstum
von Galliumoxid auf reinen CoGa(100) Oberflächen zeitaufgelöst und
temperaturabhängig untersucht. Die Messungen wurden am European
Synchrotron Radiation Facility am Strahlrohr (ESRF) ID32 durchgeführt.
Die Struktur der 4x2 rekonstruierten sauberen Oberfläche wurde bestimmt
und mit Ergebnissen aus LEED und STM Messungen verglichen.
Die Oxidation bei geringen Sauerstoffpartialdrücken von
3·10−8 hPa und Temperaturen von Raumtemperatur bis 800K
zeigen das Wachstum von Oxid-Inseln, welche zunehmend die
Oberfläche bedecken. Im weiteren Verlauf kommt es zur Bildung
einer geschlossenen, geordneten Oxidschicht. Das Verhalten des
Oxidwachstums wurde bei verschiedenen Temperaturen untersucht,
um Aussagen über die Kinetik des Oxidationsprozesses zu
ermöglichen.