Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung

VA 2.2: Vortrag

Montag, 27. März 2000, 15:40–16:00, H\"orsaal 47

Absolutdruckmessung mit kapazitiven Ganzmetallsensoren — •Peter Hofmann — MKS Instruments, Schatzbogen 43,81829 Muenchen

Eine der wichtigsten Aufgaben in der modernen Vakuum- und Prozesstechnik ist die Bestimmung des Drucks mit hoher Absolut-genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Ein Messgerät hierfür sollte idealerweise unabhängig von medienspezifischen Eigenschaften (gasartunabhängig), korrosionsfest und ohne äussere Einflüsse arbeiten (Temperatur, Umgebungsdruck etc.). Mit dieser Zielsetzung wurde ein Ganzmetallsensor entwickelt, der kapazitiv den Druck als Kraft pro Fläche bestimmt. Aufgrund seines neuen Heizungsdesigns und kleineren Bereichsendwerten setzt dieser Drucksensor neue Massstäbe im Bereich Nullpunktsstabilität und Reproduzierbarkeit. Solche Eigenschaften erlauben es in industriellen Prozessen gasartunabhängig zu messen und den sinnvollen Arbeitsbereich von Kapazitätsmanometern bis weit in das Hochvakuum hinein auszudehnen. Im Rahmen des Vortrages sollen die technischen Ausführungen vorgestellt und Messergebnisse mit anderen Drucksensoren verglichen werden.