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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuummesstechnik I: Totaldruckmessung

VA 2.5: Talk

Monday, March 27, 2000, 16:40–17:00, H\"orsaal 47

Ein vollautomatisiertes Gasdosiersystem für die Vakuummetrologie — •Karl Jousten, Hartmut Menzer und Rolf Niepraschk — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, D-10587 Berlin

Gasdosiersysteme werden in der Vakuummetrologie zur Erzeugung bekannter Drücke im Hoch- und Ultrahochvakuum mittels des kontinuierlichen Expansionsverfahrens eingesetzt. Weitere wichtige Anwendungen sind die Kalibrierung von Testlecks und die Messung des Saugvermögens von Hochvakuumpumpen. In der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt wurde ein neues, vollautomatisch arbeitendes Gasdosiersystem fertiggestellt. Es erzeugt im Routinebetrieb Gasflüsse zwischen 10⁻⁵Pa L/s und 3 Pa L/s bei 296,15 K mit relativen Standardunsicherheiten zwischen 0,2% und 0,5%, kann jedoch auch kleinere Flüsse bis herab zu 10⁻⁹ Pa L/s erzeugen. Aufbau, Betrieb und Evaluierung des neuen Systems werden beschrieben.