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Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Beschichtungstechnik

Dienstag, 28. März 2000, 10:00–11:20, H\"orsaal 47

10:00 VA 4.1 Hauptvortrag: Vakuumgestützte Zukunftstechnologien in der Optik — •Norbert Kaiser
10:40 VA 4.2 Quadrupol- Massenspektrometer in der Beschichtungstechnologie — •Günter Peter und Norbert Müller
11:00 VA 4.3 Endpunktdetektion mittels Quadrupolmassenspektrometern — •Günter Peter
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