Berlin 2001 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 12: Plasma Wall Interaction, Diagnostic and Low Temperature Discharges (Poster Session)
P 12.19: Poster
Friday, April 6, 2001, 12:30–15:00, AT2
Lithium-Atomstrahl-Diagnostik für Te und Ne in reaktiven Plasmen — •M. Böke und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II (anwendungsorientierte Plasmaphysik), Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum
Bei der Abscheidung von funktionalen Schichten
mit Hilfe von reaktiven Plasmen werden Wachstumsrate und
Schichteigenschaften entscheidend von der Elektronendichte und
mittleren Elektronenenergie beeinflußt. Daher ist deren
Kenntnis – insbesondere deren räumliche Verteilung und
zeitliche Entwicklung – von fundamentaler Bedeutung.
Die
emittierte Strahlung eines thermischen Lithium-Atomstrahles wird
ausgenutzt, um Plasmadichte und mittlere Elektronenenergie zu
ermitteln. Mittels einer ICCD-Kamera und Interferenzfiltern wird
das von den neutralen Lithium-Atomen (angeregt durch Stösse mit
Plasmalelektronen) emittierte Licht aufgenommen. Die aus
geeigneten Linienintensitätsverhältnissen gewonnenen
Plasmaparameter werden zunächst zur Erprobung und
Charakterisierung der Diagnostik mit Ergebnissen aus
Sondenmessungen in Edelgasplasmen verglichen. LIF-Messungen
unter
Verwendung eines durchstimmbaren Diodenlasers in externem
Resonator (Littman-Anordnung) werden zur Vermessung des Li-
Atomstrahles verwendet.
Als Entladungsgeometrie steht eine GEC-Standard-Zelle mit
induktiver Einkopplung zur Verfügung, welche bei einer Frequenz
von 13.56 MHz und Drucken im Bereich von 0.1-50 Pa betrieben
wird.
Gefördert vom SFB 191
(Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).