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Berlin 2001 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 12: Plasma Wall Interaction, Diagnostic and Low Temperature Discharges (Poster Session)

P 12.19: Poster

Freitag, 6. April 2001, 12:30–15:00, AT2

Lithium-Atomstrahl-Diagnostik für Te und Ne in reaktiven Plasmen — •M. Böke und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II (anwendungsorientierte Plasmaphysik), Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum

Bei der Abscheidung von funktionalen Schichten mit Hilfe von reaktiven Plasmen werden Wachstumsrate und Schichteigenschaften entscheidend von der Elektronendichte und mittleren Elektronenenergie beeinflußt. Daher ist deren Kenntnis – insbesondere deren räumliche Verteilung und zeitliche Entwicklung – von fundamentaler Bedeutung.
Die emittierte Strahlung eines thermischen Lithium-Atomstrahles wird ausgenutzt, um Plasmadichte und mittlere Elektronenenergie zu ermitteln. Mittels einer ICCD-Kamera und Interferenzfiltern wird das von den neutralen Lithium-Atomen (angeregt durch Stösse mit Plasmalelektronen) emittierte Licht aufgenommen. Die aus geeigneten Linienintensitätsverhältnissen gewonnenen Plasmaparameter werden zunächst zur Erprobung und Charakterisierung der Diagnostik mit Ergebnissen aus Sondenmessungen in Edelgasplasmen verglichen. LIF-Messungen unter Verwendung eines durchstimmbaren Diodenlasers in externem Resonator (Littman-Anordnung) werden zur Vermessung des Li- Atomstrahles verwendet.
Als Entladungsgeometrie steht eine GEC-Standard-Zelle mit induktiver Einkopplung zur Verfügung, welche bei einer Frequenz von 13.56 MHz und Drucken im Bereich von 0.1-50 Pa betrieben wird.
Gefördert vom SFB 191 (Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).

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