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Q: Quantenoptik

Q 37: Optical Applications II

Q 37.2: Talk

Friday, April 6, 2001, 17:45–18:00, H 3010

Multi-cavity-Filter in Aufdampftechnik — •Ron Schulz¹, Chris Scharfenorth¹, Robert Elschner², and Hans-J. Eichler¹ — ¹TU-Berlin, Opt. Inst., Str. des 17. Juni 135, 10623 Berlin — ²Berliner Glas, Waldkraiburger Str. 5, 12347 Berlin

Für das Wellenlängenmultiplexen in der optischen Datenübertragung sind Dünnschichtfilter erforderlich, die besonders strengen Spezifikationen bezüglich ihrer spektralen Eigenschaften genügen. Solche Filter werden meist mit plasmaunterstützten Aufdampfverfahren hergestellt, um hinsichtlich Schichtstruktur und Schichtgeometrie die Vorgaben einzuhalten.

Im Rahmen unserer Arbeit wurden dagegen Fabry-Perot-Filter für den sichtbaren Spektralbereich durch konventionelles Elektronenstrahl-Verdampfen beschichtet. Die Herstellung von zweifach und dreifach Fabry-Perot-Filtern mit niedrigbrechenden Resonatorschichten erfolgte in mehreren Schritten, jeweils unterbrochen durch eine mehrstündige oxidative Wärmebehandlung.

Durch die zusätzlichen Resonatoren konnte die Flankensteilheit des einfachen Fabry-Perot von 0,8 auf 1,7 dB/nm verbessert werden. Die Ergebnisse zeigen weiterhin eine gute Übereinstimmung der photometrischen Messung mit den berechneten Filtereigenschaften. Die Empfindlichkeit hinsichtlich Schichtdickentoleranzen der Resonatorschichten von Multi-cavity-Filter konnte gezeigt werden.