Bonn 2001 – wissenschaftliches Programm
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T: Teilchenphysik
T 502: Halbleiterdetektoren 5
T 502.5: Vortrag
Mittwoch, 28. März 2001, 17:15–17:30, HS IX
Optische und elektrische Qualitätskontrolle von Silizium-Mikro-Streifen-Detektoren — •Christian Piasecki, Tobias Barvich, P. Blüm, F. Hartmann, F. Hauler, K. Kärcher, Th. Müller und H.-J. Simonis — Institut für Experimentelle Teilchenphysik, Universität Karlsruhe
Der Spurendetektor des CMS-Experimentes am zukünftigen LHC-Beschleuniger besteht zum größten Teil aus Silizium-Streifen-Detektoren. In Karlsruhe befindet sich eines der vier vorgesehenen Qualitätskontrollzentren (quality test centers, QTC) für die 28000 Siliziumsensoren (entspricht 213 m2). Der Vortrag beschreibt im Detail die Testprozeduren und Apparaturen. 100 % der Detektoren werden optisch getestet, d. h. es werden Oberflächenfehler gesucht und Schnittkanten vermessen. Zur Automatisierung werden die Detektoren mit Hilfe einer Mikroskopkamera digitalisiert und die Bilder danach per Mustererkennungssoftware weiterverarbeitet. Bei der elektrischen Qualitätskontrolle werden bei 5 % der Detektoren Widerstände, Kapazitäten und Leckströme vermessen, um die gleichbleibende Qualität des Herstellungsprozesses zu überprüfen.