Hamburg 2001 – scientific programme

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AIW: Ausschuss Industrie und Wirtschaft

AIW 3: Sensorik/Telematik

AIW 3.1: Invited Talk

Thursday, March 29, 2001, 14:00–14:20, S\ 8

Mikrosystemtechnische Kfz-Sensoren — •H.-P. Trah — Robert Bosch GmbH

Moderne Kraftfahrzeugsysteme sind elementar auf sensorische Eingangsgrößen aller Art angewiesen. Ohne die genaue Kenntnis der jeweils aktuellen Werte einer ganzen Reihe von Zustandsvariablen (Temperatur, Druck, Beschleunigung, Drehrate, Drehzahl, Winkel, Kraft, Abstand, Drehmoment, chemische Zusammensetzung, ...) wären diese Systeme undenkbar. Parallel dazu war in den letzten Jahren eine geradezu revolutionäre Entwicklung bei den Basistechnologien der Sensorik zu beobachten. Viele klassische Fertigungsverfahren aus dem Bereich der Mechanik und Elektromechanik wurden zunehmend von mikrosystemtechnischen Verfahren verdrängt. Einer der wesentlichen Vorteile dieser neuen Verfahren liegt in der Batch-Fertigung mit entsprechenden Miniaturisierungs-, Integrations- und damit auch Kostenpotentialen, wodurch aber andererseits naturgemäß auch die Komplexität beim Design solcher Sensoren wächst. Einzelne physikalische Domänen (Mechanik, Elektrik, Thermik, Fluidik, ...) lassen sich in den typischen Dimensionen dieser Bauelemente (µm ... mm) nicht mehr unabhängig voneinander behandeln, da durch die Wechselwirkungen die Funktionalitat und Zuverlässigkeit der Bauteile wesentlich beeinflußt wird. Dies erzwingt z.T. völlig neue Wege des Designs, aber auch des "Design for Test".