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DS: Dünne Schichten

DS 19: Schichteigenschaften II

DS 19.2: Vortrag

Donnerstag, 29. März 2001, 15:15–15:30, S 5.1

Strukturelle und optische Eigenschaften von gesputterten SrTiO(3)-Schichten — •Dieter Mergel, Markus Gersdorff, Christian Bürger und Zhaohui Qiao — Universität Essen, Fb Physik, AG Dünnschicht-Technologie, 45117 Essen

STO-Schichten wurden durch HF-Sputtern eines oxidischen Targets bei verschiedenen Substrat-Temperaturen und Sauerstoff-Zumischungen q(O2) zum Arbeitsgas hergestellt. Optische Transmissions-Spektren wurden dielektrisch modelliert. Aus den Anpassungsparametern werden die Eigenschaften der Bandkante abgeleitet.

Die Dichte der Schichten erreicht in einem bestimmten Arbeitsbereich diejenige des Kristalls. Wird bei T = 650 C q(O2) systematisch erhöht, dann wird die Bandkante schärfer, sinkt der Brechungsindex bei 800 nm und nimmt der Volumenanteil der (100)-orientierten Körner ab.

Die Textur der Kristallorientierungen spiegelt die Symmetrie während der Beschichtung wider.