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DS: Dünne Schichten

DS 23: Spezielle Schichten I

Thursday, March 29, 2001, 14:00–14:45, S 13/14

	14:00	DS 23.1	Invited Talk: Neue Dünnschichtmaterialien für die fortgeschrittene Mikroelektronik — •Stefan E. Schulz und Thomas Gessner