Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 25: Spezielle Schichten III

DS 25.4: Talk

Thursday, March 29, 2001, 17:00–17:15, S 13/14

IR-Ellipsometrie zur Charakterisierung von anisotropen Polymerschichten — •K. Hinrichs¹, E.H. Korte¹, A. Röseler¹, K. Sahre² und K.-J. Eichhorn² — ¹Institut für Spektrochemie und angewandte Spektroskopie- Institutsteil Berlin, Albert-Einstein-Str. 9, D-12489 Berlin-Adlershof — ²Institut für Polymerforschung, Hohe Str. 6, D-01062 Dresden

Zur optischen Charakterisierung einer dünnen Polyimidschicht auf Si werden Infrarot (IR)-Ellipsometrie und IR-Transmissionsmessungen im Spektralbereich zwischen 400-4000cm⁻¹ angewendet. Aus hochauflösenden Transmissionsmessungen werden Frequenzen und Halbwertsbreiten von Molekülbanden bestimmt. Mit den ellipsometrischen Messgrößen für drei verschiedene Einfallswinkel ergeben sich durch eine Best-Fit-Rechnung [1,2] in einem anisotropen Schichtmodell, die Schichtdicke (d=1780nm) sowie die optischen Konstanten (n und k) und die Oszillatorstärken der Molekülschwingungen. Die Polyimidschicht zeigt in der Oberflächenebene ein isotropes Verhalten und eine optische Anisotropie in Richtung der Oberflächennormalen (n_x=n_y=1,78; n_z=1,58). [1] J. Humlicek, A. Röseler, Thin Solid Films 234, 332 (1993). [2] M. Schubert, T. E. Tiwald, C. M. Herzinger; Phys. Rev. B 61, 8187 (2000).