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DS: Dünne Schichten

DS 28: Diamant, diamant
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DS 28.5: Talk

Friday, March 30, 2001, 13:15–13:30, S 5.1

Elektrische Charakterisierung von fluorhaltigen diamantähnlichem Kohlenstoff — •Michael Büttner, Carsten Ronning, Oliver Wondratschek, Ulrich Vetter und Hans Hofsäß — II. Physikalisches Institut, Bunsenstr. 7-9, 37073 Göttingen

Amorpher fluorhaltiger Kohlenstoff (a-C:F) mit seiner niedrigen Dielektrizitätskonstante ist ein Kandidat für die Minimierung von unerwünschten Kapazitäten in integrierten Schaltkreisen. Dieser Beitrag berichtet von I(U)-Kennlinien- und Kapazitätsmessungen an ionenstrahldeponierten a-C:F-Schichten mit unterschiedlichem F-Gehalt. Bei niedriger F-Konzentration haben die Schichten eine hohe Dichte und eine diamantähnliche Struktur. Mit wachsendem F-Gehalt zeigen sie eine Erhöhung der Leitfähigkeit. Bei hohen F-Konzentrationen (>30%) jedoch ändert sich die Struktur grundlegend. Eine polymerartige Phase mit niedriger Dichte erklärt die mit XPS, RBS, Auger und EELS gewonnenen Ergebnisse. Die elektrischen Eigenschaften ändern sich ebenfalls drastisch hin zu geringer Leitfähigkeit.