Hamburg 2001 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.51: Poster

Tuesday, March 27, 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Charakterisierung von Gradienten-Multischichtsystemen mittels Röntgenstreuung — •F. Weber¹, J. Stettner¹, M. Tolan¹, W. Press¹, C. Dieker², W. Jäger² und C. Michaelsen³ — ¹Institut für Experimentelle und Angewandte Physik der Universität Kiel, Leibnizstraße 19, 24098 Kiel — ²Mikrostrukturanalytik, Technische Fakultät der Universität Kiel, Kaiserstraße 2, 24143 Kiel — ³GKSS-Forschungszentrum Geesthacht GmbH, Max-Planck-Straße, 21502 Geesthacht

Im Bereich der Röntgenoptiken wurden in den letzten Jahren neue Multischichtsysteme entwickelt, die höhere Intensitäten und eine bessere Auflösung ermöglichen. Unter dem Namen ’Göbelspiegel’ werden bereits Multischichtsysteme angeboten, die die Röntgenstrahlung gleichzeitig monochromatisieren und parallelisieren. Diese Schichtsysteme weisen in Strahlrichtung einen Schichtdickegradienten auf und sind zusätzlich parabolisch gekrümmt. Für die Optimierung dieser Schichtsysteme ist die genaue Kenntnis der mesoskopischen Struktur unerläßlich. Es wurden nanoskopische Ni/C-Multischichten ohne und mit Gradienten, die mittels Pulsed Laser Deposition bzw. Magnetronsputtering auf ebene Si-Substrate aufgebracht wurden, durch Röntgenstreumessungen im Bereich der Totalreflexion an Laborröntgenquellen charakterisiert. Die Schwerpunkte bei der Auswertung lagen (i) bei der Bestimmung der Schichtdicken in Abhängigkeit von der Tiefe, (ii) bei der Bestimmung der vertikalen Korrelation der Rauhigkeit in Abhängigkeit von der lateralen Wellenlänge der Rauhigkeit, und (iii) beim Vergleich der Ergebnisse mit transmissionselektronenmikroskopischen Aufnahmen.