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HL: Halbleiterphysik

HL 21: Photonische Kristalle

HL 21.8: Talk

Tuesday, March 27, 2001, 17:15–17:30, S9/10

Miniaturisierte InP-Halbleiterlaser mit Photonischen Kristallspiegeln — •Alexander Markard¹, Jürgen Hofmann¹, Thomas Happ¹, Martin Kamp¹, Jean-Louis Gentner², Sebastian Lourdudoss³ und Alfred Forchel¹ — ¹Technische Physik, Universität Würzburg, Am Hubland, 97074 Würzburg — ²Opto+, Route de Nozay, F-91461 Marcoussis — ³KTH Dept. of Electronics, Electrum 229, S-164 40 Kista

Für den zukünftigen Einsatz optoelektronischer Bauelemente in hochintegrierten photonischen Schaltkreisen werden miniaturisierte, in der Waferebene emittierende Laser benötigt. Die hierzu erforderlichen hohen Resonatorgüten können durch den Einsatz photonischer Kristalle (PK) als hochreflektierende Laserspiegel erzielt werden. In dieser Arbeit werden tiefgeätzte 1D-DBR-Spiegel sowie 2D triangulare PK-Spiegel als alternative Ansätze verglichen. Die PK-Spiegel werden an den Enden eines Rippenwellenleiters mittels hochauflösender Elektonenstrahllithographie definiert und mit einem stark anisotropen Cl₂/Ar ECR-RIE Trockenätzprozess in den Halbleiter übertragen. Sowohl für die Halbleiterlaser mit 1D-DBRs als auch mit 2D PK-Spiegeln wurde cw-Betrieb bei Raumtemperatur für Resonatorlängen bis 40 bzw. 100 µm erreicht. Zur Beurteilung der Hochfrequenzeigenschaften werden RIN-Messungen sowie Untersuchungen zur Kleinsignalmodulation vorgestellt.