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HL: Halbleiterphysik

HL 7: Poster I

HL 7.24: Poster

Monday, March 26, 2001, 10:30–19:00, Rang S\ 3

Nanostrukturen mittels selbstorganisierender "Breath Figures" - ein Konzept zur Herstellung von photonischen Kristallen — •Michael Haupt¹, S. Miller¹, K. Thonke¹, R. Sauer¹, A. Mouran² und M. Moeller² — ¹Halbleiterphysik, Universität Ulm, 89081 Ulm — ²Organische Chemie III, Universität Ulm, 89081 Ulm

Durch Kondensation von Wassertröpfchen auf einem Polymerfilm, der auf einem Halbleitersubstrat aufgebracht wird, können Polymermuster (sog. "Breath Figures") erzeugt werden. Die Tröpfchen werden durch das Polymer stabilisiert und organisiert. Nach dem Verdampfen des Wassers bleibt ein hexagonales Polymerwabenmuster auf der Oberfläche zurück. Zunächst können die Polymerwaben durch Metallbedampfungen und anschließende Lift-Off-Techniken in metallische Gitter und entsprechende inverse Scheiben umgewandelt werden. Die Periodizität der Strukturen lässt sich zwischen 300nm und mehreren Mikrometern über makroskopische Substratbereiche hinweg einstellen. Mit der Übertragung der Masken mittels Ionenstrahlätzens in Halbleiter verolgen wir neue Ansätze zur Herstellung von photonischen Kristallen. Ebenso können die metallischen Gitterstrukturen auf flexiblen Folien aufgebracht und als photonische Bandpassfilter genutzt werden.