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HL: Halbleiterphysik
HL 7: Poster I
HL 7.58: Poster
Montag, 26. März 2001, 10:30–19:00, Rang S\ 3
Erhöhte Arbeitstemperatur von SET-Elektrometern für die Untersuchung des Quanten-Hall-Effekts — •T. Klaffs1, V. A. Krupenin2 und F.-J. Ahlers1 — 1Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 — 2Laboratory of Cryoelectronics, Moscow State University, 119889
Bereits vor einigen Jahren konnte gezeigt werden, daß sich Einzelelektrontransistoren (SETs) hervorragend dazu eignen, lokale Potentialänderungen im Quanten-Hall-Effekt zu messen [1]. Mit herkömmlicher Technologie hergestellte SETs haben allerdings zwei Mankos: Zum einen bleibt die Arbeitstemperatur üblicherweise auf den Temperaturbereich unterhalb von 100mK beschränkt, zum anderen bleiben in der Nähe des eigentlichen Transistors parasitäre Schatten, die den zu messenden Effekt abschirmen können.
Mit Hilfe einer neuen, sehr zuverlassigen, 3-Winkel-Bedampfungstechnik durch eine unterätzte Germaniummaske konnten die Abmessungen der Tunnelkapazitäten so weit verkleinert werden, daß selbst bei T=2K noch ausgeprägte Coulombblockade-Oszillationen meßbar sind. Die bei der Schrägbedampfung entstehenden Schatten landen auf den Zuleitungen und haben somit keinen Einfluß auf die zu messenden Größen.
[1] Y. Y. Wei, J. Weis, K. v. Klitzing and K. Eberl Appl. Phys. Lett 71 (17) 27 October 1997