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LTHH: Lehrertag Hamburg

LTHH II: HV II

LTHH II.1: Invited Talk

Friday, March 30, 2001, 10:30–11:30, CCH, Saal 4

Erzeugung von dünnen Schichten unter Einsatz von Laserstrahlen — •Steffen Weißmantel — Hochschule Mittweida (FH), Fachbereich Physik, Technikumplatz 17, 09648 Mittweida

Ausgehend von den Elementarprozessen der Wechselwirkung von Laserstrahlen mit Materie wird eine Übersicht über die Möglichkeiten des Lasereinsatzes für die Erzeugung dünner Schichten und deren Anwendung in der industriellen Praxis gegeben. Im Hauptteil des Vortrages werden die lasergestützten physikalischen und chemischen Abscheideverfahren aus der Gasphase einschließlich der Verfahrensvarianten mit zusätzlicher Ionenstrahl-, Plasma- oder Photoneneinwirkung vorgestellt. Darüber hinaus werden die Verfahren der lasergalvanischen Schichtabscheidung, der Laseroxydation und Lasernitrierung sowie der Laserpolymerisation behandelt. Weitere Einsatzmöglichkeiten des Lasers zur Schichterzeugung sind die Laserrekristallisation von Schichten, die lasergestützte Verbindungs- und Legierungsbildung sowie die laserinduzierte Amorphisierung. Die physikalischen bzw. chemischen Verfahrensgrundlagen und die spezifischen Schichteigenschaften werden anhand von Beispielen erläutert. In einem abschließenden Ausblick wird der Einsatz des Lasers für die Erzeugung von nanostrukturierten Schichten diskutiert.