Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 29: Rastersondentechniken (II)
O 29.3: Vortrag
Donnerstag, 29. März 2001, 11:00–11:15, M
Der digitale Pulsed Force Mode - ein vielseitiges Instrument zur Bestimmung von Oberflächenparametern mit dem Rasterkraftmikroskop — •Peter Spizig1, Detlef Sanchen1, Joachim Koenen1 und Othmar Marti2 — 1WITec GmbH, Hörvelsingerweg 6, 89081 Ulm — 2Universität Ulm, Experimentelle Physik, 89081 Ulm
Mit allgemein zunehmender Bedeutung der Mikro- und Nanotechnologie spielt in der Rastersondenmikroskopie nicht nur die Erfassung der reinen Oberflächentopographie, sondern auch die Bestimmung von anderen Materialkenngrößen eine immer wichtigere Rolle.
Ein häufig angewendetes Meßverfahren stellt deshalb die Pulsed Force ModeTM Mikroskopie dar, die es erlaubt, gleichzeitig neben der Probentopographie auch die lokale Steifigkeit und die Adhäsion einer Probe zu bestimmen. Um Aussagen über weitere physikalisch interessante Oberflächenparameter machen zu können, und die praktische Verwendung dieses Meßverfahrens zu vereinfachen wurde von uns der digitale Pulsed Force Mode entwickelt.
Mit diesem neuen Verfahren sind jetzt erstmals alle in den periodisch durchlaufenen Kraft-Distanz-Kurven enthaltenen Informationen wie z.B. die Abreiß-Charakteristik der Rastersonde von der Probe, die dabei auftretende Energiedissipation, usw. auf einfache Weise zugänglich.
Viele der Größen, sowie Integrale unter der Kraftkurve können in Echtzeit bereits während der Messung zur Erzeugung von Oberflächendarstellungen genutzt werden. Durch die vollständige Aufzeichnung der Messung ist es zudem möglich, wichtige Größen und Details der rasterkraftmikroskopischen Messung mit Postprocessing zu evaluieren.