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TT: Tiefe Temperaturen
TT 16: Postersitzung II: Amorphe und Tunnelsysteme, Mesoskopische Systeme, Schwere Fermionen, Kernmagnetismus
TT 16.20: Poster
Tuesday, March 27, 2001, 14:30–17:00, Rang S\ 3
Herstellung magnetischer Tunnelkontakte mit lateralen Abmessungen im sub-µm Bereich — •Jürgen Schuler1, Thomas Kemen2, Christian Probst1, Achim Marx1 und Rudolf Gross1 — 1Walther-Meissner-Institut, Bayerischen Akademie der Wissenschaften, Walther-Meissner Straße 8, 85748 Garching — 2Universität zu Köln, Lehrstuhl für Angewandte Physik, Zülpicher Str. 77, 50937 Köln
Wir entwickeln einen Prozess zur Herstellung ferromagnetischer Tunnelkontakte mit Al2O3-Barrieren. Ziel dieser Entwicklung ist es, Doppeltunnelkontakt-Strukturen (SET-Strukturen) herzustellen, deren Elektroden und deren Insel wahlweise aus ferromagnetischen Metallen, Normalleitern oder Supraleitern bestehen können. Hiermit soll das Zusammenspiel von tunnelmagnetoresistiven und Einzelladungseffekten mit Normal- und Supraleitern untersucht werden.
Unsere derzeitigen Arbeiten konzentrieren sich sowohl auf das verwendete Lacksystem, als auch auf Arbeiten zu den verwendeten Materialsystemen. Im Vordergund steht zunächst die Herstellung von Tunnelkontakten mit Al2O3-Barrieren mit den erforderlichen Tunnelwiderständen ohne Kurzschlüsse.
Die Arbeiten zur Optimierung des Lacksystems zielen zum einen auf die Reduzierung der minimal erreichbaren Strukturbreiten im Rahmen unseres Schattenbedampfungsprozesses ab. Gleichzeitig wird ein Verfahren zur Präparation von SET-Strukturen umgesetzt, das mit Hilfe des Ionenstrahlätzens das Erreichen kleinerer Kapazitäten bei SET-Strukturen ermöglichen soll.