Bochum 2002 – scientific programme

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K: Kurzzeitphysik

K 2: Lasersysteme und Laserstrahl-Wechselwirkungen

K 2.1: Fachvortrag

Wednesday, March 20, 2002, 10:50–11:20, HZO 80

Neueste Entwicklungen bei kompakten Excimerlasern — •Andreas Görtler — TuiLaser AG, Industriestr. 15, 82110 Germering

Excimerlaser sind in den letzten Jahren in verschiedenen industriellen Prozessen, hauptsächlich in der Halbleiterindustrie mit mehreren Tausend Systemen zum Einsatz gekommen. Neben diesen großen Lasersystemen sind auch die kompakten Excimerlaser, die im Energiebereich unter 50 mJ angesiedelt sind, in die industrielle Anwendung vorgedrungen. Alle kommerziell genutzten Excimerwellenlängen zwischen 351 nm und 157 nm können mit einer Repetitionsrate von bis zu 1 kHz erzeugt werden. Langzeittests haben eine Röhrenlebensdauer von mehr als einer Milliarde Pulsen belegt. Des weiteren konnte bei 193 nm eine Optiklebensdauer von ebenfalls mehr als eine Milliarde Pulse gezeigt werden. Die Ergebnisse von Dauertests bei verschiedenen Wellenlängen werden ausführlich dargestellt und ein Ausblick auf die weitere Entwicklung derartiger Systeme gegeben.