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P: Plasmaphysik

P 14: Plasmadiagnostik

P 14.2: Talk

Wednesday, March 20, 2002, 12:45–13:00, HZO 70

In situ Diagnostik des Energieübertrages vom Plasma auf Nano-Partikeln durch Mie-Ellipsometrie — •Gerd Gebauer und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum

Plasma erzeugte Nanopartikel haben eine wichtige Rolle in der modernen Materialtechnologie, in der Chemie und u.a. in der Astrophysik. Nanopartikel bilden die Grundlage für Farbpigmente, Oberflächenschutzschichten und neuartige Halbleitereigenschaften. In der Medizin werden modifizierte Partikel als Objektträger und als Nano-Sonden eingesetzt. Die in situ Diagnostik der Partikelgröße, der Größenverteilung, der dielektrischen Eigenschaften und der Energieaufnahme sind die entscheidenden Kenngrößen für die Prozesssteuerung.

In dieser Arbeit wird ein Verfahren vorgestellt, welches die Bestimmung der Reduktionsrate der Partikelgröße und die Veränderung der Größenverteilung bei Schmelzprozessen während des Prozesses beinhaltet und somit einen Einblick in die Energieaufnahme und Energieverteilung des Partikels ermöglicht.

Diese Arbeit wird gefördert vom MSWF des Landes Nordreihn-Westfalen.