Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 16: Niedertemperatur-Plasmen, Plasmatechnologie

Mittwoch, 20. März 2002, 15:20–16:20, HZO 70

	15:20	P 16.1	Räumliches und zeitliches Verhalten der Ladungsträger in einer gepulsten RF-Entladung in Sauerstoff und Chlor mit induktiver Einkopplung — •C. Manthey, H.-M. Katsch und H. F. Döbele
	15:35	P 16.2	Vergleich berechneter und gemessener Ionenenergieverteilungen in der Randschicht kapzitiver Plasmen — •Georg Wenig, Peter Meßerer, Peter Scheubert und Peter Awakowicz
	15:50	P 16.3	Experimentelle Untersuchungen an einer ECR-Entladung mit gepulstem Gaseinlaß — •Stefan Meier, Dirk Hemmers, Helmut Kempkens, Detlev Reiter und Jürgen Uhlenbusch
	16:05	P 16.4	Wechselwirkung von Mikrowellen mit Plasma-Array-Antennen — •J. Uhlenbusch, M. Baeva, A. Pott, H.J. Schäfer, J. Höschele und J. Steinwandel