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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.29: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Self-Excited Electron Resonance Spectroscopy: Untersuchung von Geometrieeffekten — •Thomas Senega und Ralf Peter Brinkmann — Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Theoretische Elektrotechnik, 44780 Bochum, Germany.

„Self-Excited Electron Resonance Spectroscopy“ (SEERS) ermöglich die passive und kontaminationsfreie Diagnostik wichtiger Betriebsdaten HF-getriebener Niederdruck-Plasmareaktoren (mittl. Elektronendichte, mittl. Elektronenstoßrate, dissipierte Leistung). Sie ist daher besonders für die in-situ Überwachung und Regelung von Plasmaprozessen in technischen Produktionsanlagen geeignet [1]. Die Methode beruht auf der Anregung der Elektronenserienresonanz durch die Nichtlinearität der Randschicht bei kapazitiver Leistungseinkopplung und kann daher sowohl bei rein kapazitiver wie auch bei gemischt kapazitiv-induktiver Anregung verwendet werden.

Es wird ein mathematisches Modell diskutiert, dass die Untersuchung des Resonanzverhaltens beliebiger zylindersymmetrischer Reaktoren erlaubt. Eine numerische Diskretisierung unter strenger Beachtung der Bilanzgleichungen ermöglicht die Abbildung auf ein verallgemeinertes Eigenwertproblem endlicher Dimension. Für einfache Spezialfälle können die Ergebnisse durch Vergleich mit analytischen Lösungen verifiziert werden. Darüber hinaus geben wir erste Resultate für eine realistische Reaktorkonfiguration an.

[1] M. Klick et. al., Surf. a. Coat. Techn. 98 (1998) 1395.