Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

P: Plasmaphysik

P 3: Niedertemperatur-Plasmen, Plasmatechnologie

P 3.1: Talk

Monday, March 18, 2002, 17:10–17:25, HZO 60

Abscheidung diamantähnlicher Schichten in einem gepulsten HF Plasma — •Gennady Fedosenko, Axel Schwabedissen, Detlef Theirich und Jürgen Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik - fmt, Bergische Universität GH Wuppertal, Obere Lichtenplatzer Str. 336, 42287 Wuppertal

Diamantähnliche (DLC) Schichten sind in einem HF-HF Hybridplasmareaktor abgeschieden worden. Der Plasmareaktor besteht aus einer planaren Multijet-Hohlkathoden (HCD) Plasmaquelle sowie einem Substrathalter, die beide mit Hochfrequenz (HF, 13.56 MHz) betrieben werden. Typische HF Leistungen der HCD Plasmaquelle betrugen 400 W (cw). Um die Eigenschaften der abgeschiedenen DLC Schichten zu modifizieren, wurde die HF Leistung am Substrathalter mit einer Frequenz von 100 Hz moduliert. Das Tastverhältnis wurde (bei konstanter zeitlich gemittelter HF Leistung) zwischen 20% und 100% variiert. Der Einfluss des Tastverhältnisses auf die Abscheiderate und die Schichteigenschaften, charakterisiert durch Ramanspektroskopie, FTIR, Ellipsometrie und Nanohärtemessungen, ist untersucht worden. Ein wichtiger Vorteil der Abscheidung im gepulsten Plasma ist eine Reduktion des Stresses der abgeschiedenen Schicht bei erhöhter Adhäsion.