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Q: Quantenoptik

Q 112: Optische Technik I

Q 112.5: Talk

Monday, March 4, 2002, 15:00–15:15, HS 22/108

Strukturanalyse von dielektrischen Schichtsystemen mit Elektronen- und Kraftmikroskopie — •Ron Schulz, Chris Scharfenorth und Hans J. Eichler — Technische Universität Berlin, Optisches Institut, Str. des 17. Juni 135, 10623 Berlin

Dielektrische Schichtsysteme werden häufig auf optischen Oberflächen zur Erhöhung oder Verminderung der Reflexion sowie zur Herstellung von Interferenzfiltern und Polarisatoren abgeschieden. Die mikrokristalline Struktur von Einzelschichten und Schichtpaketen aber auch die Oberflächenrauigkeit erklären unerwünschte Streueigenschaften der Probe. Experimentelle Untersuchungen von Glassubstraten und Schichten aus SiO2 und Ta2O5 sowie Oberflächen und Bruchkanten werden vorgestellt.