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Q: Quantenoptik

Q 211: Laser III

Q 211.3: Talk

Tuesday, March 5, 2002, 14:30–14:45, HS 22/B01

Untersuchung zu Laserbohrungen mit hohem Aspektverhältnis in keramischen Werkstoffen mit Lasersystemen hoher Strahldichte — •A. Binder¹, D. Ashkenasi¹, T. Metzger¹, Th. Riesbeck², E. Risse² und H. J. Eichler² — ¹LMTB GmbH, Schwarzschildstr. 8, 12489 Berlin — ²TU Berlin, Str. des 17. Juni 135, 10623 Berlin

Bohrungen mit hohem Aspektverhältnis werden für vielfältige Anwendungen in der Technik benötigt. In der Mikroelektronik ist man bestrebt, die Packungsdichten der Bauteile zu erhöhen, da bei gesteigerten Taktraten den Signallaufzeiten eine immer größere Bedeutung zukommt. Hierzu sind in Multilayersystemen Durchkontaktierungen im Mikrometerbereich erforderlich. Wegen seiner hohen Wärmeleitfähigkeit wird vermehrt AlN Keramik als Träger solcher Systeme eingesetzt.

Um die angestrebten hohen Aspektverhältnisse bei einem Bohrlochdurchmesser von 100 µm zu erreichen, muss das verwendete Lasersystem eine hohe Strahldichte und Variabilität in der Pulsspitzenleistung bereitstellen. In diesem Vortrag werden Bohrungen in Aluminiumnitrid und -oxid vorgestellt, sowie das verwendete Oszillator-Verstärker-System.