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Q: Quantenoptik
Q 231: Post Deadline
Q 231.9: Talk
Tuesday, March 5, 2002, 20:20–20:30, HS 11/215
Sub-Mikrostrukturierung mit Femtosekundenlaserpulsen — •Jürgen Koch1, Frank Korte1, Stefan Nolte2, Carsten Fallnich1 und Boris N. Chichkov1 — 1Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, D-30419 Hannover, Germany — 2Institut für Angewandte Physik, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Max-Wien-Platz 1, D-07743 Jena, Germany
In den vergangenen Jahren wurde demonstriert, daß der Femtosekundenlaser ein einzigartiges und universelles Werkzeug für die Mikromaterialbearbeitung ist. Es lassen sich Strukturen bis hinunter in den Bereich von einem Mikrometer erzeugen.
Durch den Einsatz von kurzbrennweitigen Fokussieroptiken ist es prinzipiell möglich in den Sub-Mikrometerbereich vorzustoßen.
Wir demonstrieren Ideen, Techniken und Ergebnisse sowie Grenzen für die Sub-Mikrometer-Materialbearbeitung. Eine kurze theoretische Beschreibung zum Ablationsprozess mit Femtosekundenlasern wird gegeben.