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DF: Dielektrische Festkörper

DF 6: Poster

DF 6.3: Poster

Wednesday, March 13, 2002, 14:30–18:00, Poster Chemie C

Elektrische und strukturelle Untersuchung an BaTiO₃ -Dünnschichten hergestellt durch PLD auf leitfähigen Oxidschichten — •Opas Trithaveesak, Martin Schmid, Willi Zander, Markus Siegert, Jürgen Schubert und Christoph Buchal — ISG1-IT, Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich

Epitaktische BaTiO₃-Dünnschichten weisen hohe Dielektrizitätskonstanten und ferroelektrische Eigenschaften auf. Die Kombination von leitfähigen Oxidschichten mit BaTiO₃-Dünnschichten bietet interessante neue Möglichkeiten. Epitaktische BaTiO₃-Dünnschichten wurden mittels PLD bei verschiedenen Temperaturen auf epitaktischen leitfähigen Oxidschichten abgeschieden. Als leitfähige Oxidschichten wurden SrRuO₃-Filme auf SrTiO₃(100)-Substrat und La_0.67Ca_0.33MnO₃-Filme auf LaAlO₃(100) verwendet. Die Schichtqualität und die Stöchiometrie der Filme wurde mit RBS analysiert und die Gitterparameter durch eine Röntgen-Analyse (XRD) bestimmt. Für die elektrischen Messungen wurden Kontaktpads aus Pt aufgedampft. Damit wurden die Temperatur(C(T))- Frequenz(C(f))- und Spannungsabhängigkeit(C(V)) der Kapazität untersucht. Die Hysterese dieser Schichten wurden mit einem AIXACCT 2000 Thin-Film-Analyser gemessen.