Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 11: Diamant und ta-C
DS 11.3: Vortrag
Mittwoch, 13. März 2002, 15:15–15:30, HS 31
Fremdatom- und Eigendiffusion in amorphen Kohlenstoffen — •H. Kröger1, C. Ronning1, H. Hofsäss1, P. Neumaier2, L. Görgens2, A. Bergmaier2 und G. Dollinger2 — 1Universität Göttingen, II. Physikalisches Institut, 37073 Göttingen — 2Technische Universität München, Physik Department E12
Es wurde die Diffusion verschiedener Elemente und Isotope in amorphem Kohlenstoff (a-C) und in tetraedrisch amorphem Kohlenstoff (ta-C) untersucht. Dazu wurden mit massenseparierter Ionenstrahldeposition spezielle Schichten mit δ-Profilen der jeweiligen Fremdatome hergestellt. Durch hochauflösende ERD-Messungen an 13C-δ-Schichten konnte gezeigt werden, dass bei Anlasstemperaturen bis 900oC keine signifikante Eigendiffusion vorliegt, die einen Einfluß auf die Diffusion anderer Elemente haben könnte. Des weiteren wurde die Diffusion von Wasserstoff an den Isotopen 1H und 2H ebenfalls mit ERD untersucht. Die Diffusion der Metalle Kupfer, Silber und Wolfram in ta-C wurde mittels RBS vermessen, wobei die Schichten bis auf Temperaturen von 1200oC angelassen wurden. Für die drei Metalle konnte gezeigt werden, dass bis zu einer Temperatur von 1000oC keine signifikante Diffusion in ta-C eintritt.