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DS: Dünne Schichten

DS 3: Schichtwachstum: Modellierung

DS 3.1: Talk

Monday, March 11, 2002, 14:00–14:15, HS 31

Gültigkeit der Modelle für die Strukturbildung amorpher Schichten bei großen Schichtdicken — •Christoph Streng¹, S.G. Mayr² und Konrad Samwer¹ — ¹I. Physikalisches Institut, Universität Göttingen, Bunsenstr. 9, 37073 Göttingen — ²Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois at Urbana-Champaign

Die systematische Untersuchung der Strukturbildung von thermisch aufgedampften amorphen Schichten geringer bis mittlerer Dicke (<1µ m) [1] wurde experimentell zu großen Schichtdicken hin erweitert. Die aus rasterkraftmikroskopischen Aufnahmen und aus Röntgenreflektivitätsmessungen gewonnenen Ergebnisse werden vorgestellt. Der Vergleich mit den aus Kontinuumsmodellen [2] zu erwartenden Oberflächenmorphologien und damit verbundenen Rauhigkeiten zeigt, dass die zur Beschreibung des Wachstums der dünnen Schichten herangezogenen Modellannahmen das weitere Wachstum nicht vollständig wiedergeben können. Ursachen und Vorschläge für eine Behebung dieses Defizits werden diskutiert.

[1] S.G. Mayr, M. Moske und K. Samwer, Phys. Rev. B 60, 16950 (1999)

[2] M. Raible, S.G. Mayr, S.J. Linz, M. Moske, P. Hänggi und K. Samwer, Europhys. Lett. 50, 61 (2000)