Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm
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HL: Halbleiterphysik
HL 42: Pr
äparation/Charakterisierung
HL 42.4: Vortrag
Freitag, 15. März 2002, 11:45–12:00, H13
Magneto-optische Ferninfrarot-Spektralellipsometrie: Bestimmung freier Ladungsträger Parameter in Halbleiterheterostrukturen — •Tino Hofmann1, Mathias Schubert1 und Craig Herzinger2 — 1Fakultät für Physik und Geowissenschaften, Festkörperphysik, Universität Leipzig, Linnéstraße 5, 04103 Leipzig — 2Center for Microelectronic and Optical Materials Research, University of Nebraska, Lincoln, USA
Die Ferninfrarot-Spektralellipsometrie (100 µm bis 15 µm, FIR-SE) ist eine polarisationsoptische Meßmethode, die auf die Eigenschaften freier Ladungsträger (Konzentration N, Beweglichkeit µ und effektive Masse m∗) sensitiv und darüber hinaus zerstörungsfrei ist. Die linear optische Response für freie Ladungsträger ist nach dem Drude-Modell proportional zu N/m∗ bzw. µ m∗ und eine unabhängige Meßmethode ist zur Bestimmung von m∗ aus den FIR-SE Spektren notwendig. Das Anlegen eines Magnetfeldes parallel zur Probennormale erzeugt eine antisymmetrische magneto-optische Doppelbrechung die umgekehrt-proportional zu m∗ ist, und somit die unabhängige Bestimmung von N, µ und m∗ ermöglicht. Wir demonstrieren am Beispiel einer Te-dotierten n-Typ GaAs Homostruktur erstmalig die Verwendung von magneto-optischer FIR-SE zur gleichzeitigen Bestimmung der drei freien Ladungsträgerparameter in dünnen Halbleiterschichten.