Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 45: Grenz- und Oberfl
ächen

HL 45.1: Vortrag

Freitag, 15. März 2002, 12:00–12:15, H17

Einfluß akustischer Oberflächenwellen auf die Dissipation in nanomechanischen Resonatoren — •Florian W. Beil, Robert H. Blick und Achim Wixforth — Sektion Physik der LMU München, LS Kotthaus, Geschwister-Scholl-Platz 1, 80539 München

Nano-elektromechanische Resonatoren sind mechanische Resonatoren mit Abmessungen im Bereich von wenigen hundert Nanometer und, dadurch bedingt, mit Eingenfrequenzen bis zu mehreren hundert MHz. Wegen möglicher Anwendungen solcher Systeme als ultrasensitive Kraft- und Ladungssensoren, oder auch als Filterelemente, sind die Dämpfungsmechanismen die bei der Schwingung z.B. eines Balkenresonators in diesen Längenskalen auftreten von besonderem Interesse. Die Eigenschwingungen solcher Resonatoren werden bisher durch Impedanzspektroskopie bei Einprägung eines HF-Wechselstroms in einem starken magnetischen Feld, oder durch elektrostastische Anregung über eine benachbarte Elektrode vermessen. Akustische Oberflächenwellen (SAW) hingegen sind Moden elastischer Energie, die sich an der Oberfläche eines piezoelektrischen Kristalls ausbreiten. SAWs mit bestimmter Frequenz könne einfach mit interdigitalen planaren Strukturen, sogenannte IDTs, erzeugt werden. Die Amplituden und Frequenzen der SAW sind vergleichbar mit denen des mechanischen Resonators, so daß eine Wechselwirkung zwischen akustischer Oberflächenwelle und dem Balkenresonator beobachtet werden kann. Wir präsentieren hier erstmals Messungen, die diese Wechselwirkung für mechanische Resonatoren mit Eigenfrequenzen bis 300 MHz auf GaAs und deren Einfluß auf die interne Dämpfung und Eigenfrequenz des Resonators zeigen.