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Regensburg 2002 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 30: Methodisches (Experiment und Theorie)

O 30.5: Talk

Thursday, March 14, 2002, 12:15–12:30, H44

Das SMART Projekt: Stand und Perspektive des korrigierten Spektromikroskops — •Th. Schmidt1, U. Groh1, R. Fink1, E. Umbach1, H. Marchetto2, O. Schaff2, W. Engel2, H. Kuhlenbeck2, A.M. Bradshaw2, R. Schlögl2, H.-J. Freund2, P. Hartel3, D. Preikszas3, R. Spehr3, H. Rose3, G. Lilienkamp4, E. Bauer4 und G. Benner51Exp. Physik II, Universität Würzburg — 2Fritz-Haber-Institut, Berlin — 3Technische Hochschule Darmstadt — 4Technische Universität Clausthal — 5LEO GmbH, Oberkochen

Das SMART Spektromikroskop ist das ambitionierteste Projekt auf dem Gebiet der spektroskopischen Photoemissionsmikroskopie. Das Instrument wird die Untersuchung von Oberflächen mittels Mikroskopie, Spektroskopie und Beugung bei einer Ortsauflösung von unter 2 nm und 100 meV Energieauflösung ermöglichen. Diese extrem hohe Ortsauflösung (theoretisch 0,3 nm) wird durch die gleichzeitige Korrektur der sphärischen und chromatischen Aberrationen des Linsensystems erreicht. Hierfür wird ein elektrostatischer Tetrodenspiegel in Kombination mit einem hochsymmetrischen Strahlteiler zusammen mit einem korrigierten OMEGA-Filter in ein Photoelektronenmikroskop eingebaut. Zusätzlich zu den photonenstimulierten spektroskopischen Methoden (XPEEM, XPS, XAS, NEXAFS, PED, usw.) steht bei Verwendung einer Elektronenkanone auch die Charakterisierung mit reflektierten Elektronen (LEEM, MEM, LEED, AES, ELS, usw.) zur Verfügung. Über den derzeitigen Stand des Gerätes, das als Vorversion an einem Hochbrillanz-Undulator-Strahlrohr bei BESSY II in Berlin aufgebaut ist, wird berichtet und ein Ausblick auf zukünftige Anwendungen gegeben.

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