Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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SYME: Mechanical Properties of Thin Films

SYME 1: Elastic Properties

SYME 1.1: Vortrag

Montag, 11. März 2002, 15:45–16:00, H 31

Akustische Oberflächenmoden zur Bestimmung elastischer Eigenschaften amorpher Borkarbidschichten — •T. Wittkowski¹, K. Jung¹, B. Hillebrands¹, M. Keunecke² und K. Bewilogua² — ¹Fachbereich Physik und Schwerpunkt Materialwissenschaften, Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Str. 56, 67663 Kaiserslautern — ²Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Bienroder Weg 54e, 38108 Braunschweig

Gesputterte Borkarbidschichten gewinnen unter anderem als Haftvermittler für kubische Bornitridschichten wachsende Bedeutung. Besonders vorteilhaft ist die einfache Integration der Borkarbiddeposition in den dynamisch geführten Beschichtungsprozess bei Verwendung eines B₄C-Targets. Die untersuchten Schichten besitzen näherungsweise die Stöchiometrie des Targets und wachsen völlig amorph auf. Mit der Brillouin-Lichtstreuspekroskopie wurde die Schallgeschwindigkeit der akustischen Oberflächenmode - der Rayleigh-Mode - bestimmt. Die elastischen Konstanten des Borkarbideinkristalls vergleichbarer Stöchiometrie liefern, zusammen mit der gemessenen Schallgeschwindigkeit, präzise obere und untere Grenzwerte für den Youngschen Modul, den Schermodul, das Poisson-Verhältnis und den Kompressionsmodul des Schichtmaterials.