Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 17: Postersitzung II: Mesoskopische Systeme (1-19), Supraleiter: Theorie (20-26), Elektronenstruktur, Phononen, Tunneln, Ordnungsparameter (27-33), Schwere Fermionen, Kondo-Systeme (34-45)

TT 17.7: Poster

Mittwoch, 13. März 2002, 14:30–18:00, A

Herstellung magnetischer Tunnelkontakte mit lateralen Abmessungen im sub-µm Bereich — •Jürgen Schuler, Thomas Kemen, Christian Probst, Achim Marx und Rudolf Gross — Walther-Meissner-Institut, Bayerische Akademie der Wissenschaften, Walther-Meissner Straße 8, 85748 Garching

Wir berichten über die Entwicklung eines Prozesses zur Herstellung von ferromagnetischen Tunnelkontakten mit Al₂O₃-Barrieren. Ziel dieser Entwicklung ist es, Doppeltunnelkontakt-Strukturen (SET-Strukturen) herzustellen, deren Elektroden und deren Insel wahlweise aus ferromagnetischen Metallen, Normalleitern oder Supraleitern bestehen können. Hiermit soll das Zusammenspiel von tunnelmagnetoresistiven und Einzelladungseffekten mit Normal- und Supraleitern untersucht werden. Unsere derzeitigen Arbeiten konzentrieren sich sowohl auf das verwendete Lacksystem, als auch auf Arbeiten zu den in Frage kommenden Materialsystemen. Im Vordergrund steht zunächst die Herstellung von Tunnelkontakten mit Al₂O₃-Barrieren mit den erforderlichen Tunnelwiderständen ohne Kurzschlüsse. Die Arbeiten zur Optimierung des Lacksystems zielen auf die Reduzierung der minimal erreichbaren Strukturbreiten im Rahmen unseres Schattenbedampfungsprozesses ab. Um eine Kontamination der aufgedampften Schicht durch die Lacke bzw. eine Schädigung der Lackstrukturen beim Aufdampfen zu vermeiden, können die Substrate beim Aufdampfen auf etwa 80 K gekühlt werden.