Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 17: Postersitzung II: Mesoskopische Systeme (1-19), Supraleiter: Theorie (20-26), Elektronenstruktur, Phononen, Tunneln, Ordnungsparameter (27-33), Schwere Fermionen, Kondo-Systeme (34-45)

TT 17.9: Poster

Mittwoch, 13. März 2002, 14:30–18:00, A

Lithographische Methoden zur Herstellung von Strukturen für mesoskopische Transportmessungen — •V. Kunej, Ch. Schirm und E. Scheer — FB Physik, Universität Konstanz

Wir stellen nanostrukturierte Proben zur Messung von Ladungstransport durch Quantenpunktkontakte (QPK) aus Metallen, Si₄ und Si₇ Clustern sowie von DNS her. Zur Herstellung werden Photo- und Elektronenstrahllithographie eingesetzt. Die verschiedenen Strukturen und Kontakte erfordern sowohl eine flexible Anwendung der Techniken auf unterschiedlichen Substraten (Si, Bronze, Glas) als auch deren Skalierung (mehrere 100 µm bis hin zum Sub-100 nm Regime).

Die QPK werden durch mechanisch kontrollierte Bruchkontakte (MKB) auf einem durch Polymid (2-5 µm) isolierten Bronzesubstrat (300 µm) realisiert. Mittels Elektronenstrahllhitographie wird auf einem Zweilacksystem aus Copolymer und PMMA ein Draht mit einer Einschnürung < 100x100 nm² strukturiert. Durch anschließendes reaktives Ionenätzen wird die Nanobrücke auf einer Länge von 2 µm freitragend und kann in einem Dreipunkt-Biegemechanismus gebrochen werden. Modifizierte MKB werden als „Landungszone“ für Si-Cluster verwendet, um deren Ladungstransport zu untersuchen.

Als kombinierte Anwendung der Photo- und Elektronenstrahllithographie werden Goldstrukturen mit genau definierten Abständen auf ein Glassubstrat aufgebracht. Mit diesen können Strom-Spannungs-Kennlinien von gestreckter DNS aufgenommen werden.