Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumverfahrenstechnik

VA 1.1: Hauptvortrag

Montag, 11. März 2002, 09:30–10:10, H47

Funktionsweise und Herstellung einer wiederbeschreibbaren CD oder DVD — •Ebinger Hans — Hanauer Landstrasse 103, 63796 Kahl / Main

In den vergangenen Jahren wurden wiederbeschreibbare optische Datenspeicher (CD-RW, DVD-RW, DVD-RAM, DVD+RW) auf der Basis von Phasenwechseln geeigneter SbTe-Legierungen entwickelt. Diese Legierungen zeichnen sich durch einen niedrigen Schmelzpunkt und hohe Kristallisationsgeschwindigkeit aus. Eingebettet in ein System von geeignet gewählten dünnen Schichten, ergeben diese einen Schalter, der mittels Laserlichteinstrahlung reversibel zwischen kristallin (hohe Reflektion) und amorph (niedrige Reflektion) geschaltet werden kann. So kann digitale Information mit hohem Kontrast zuverlässig gespeichert und wieder gelöscht werden. In der Zukunft werden diese Discs die Diskette und die VHS-Kasette ablösen und große Bedeutung im Bereich Verbraucherelektronik erlangen. Hergestellt werden die wiederbeschreibbaren Formate mittels Sputtertechnik im Takt von wenigen Sekunden. Um die Funktion zu gewährleisten, müssen diese Schichten eine hohe Gleichmässigkeit der Schichtdicke aufweisen. Desweiteren muß die beim Beschichtungsprozess freiwerdende Wärme, die die Substrate bei Überschreiten einer kritischen Temperatur irreversibel verformen würde, abgeführt werden. Im Vortrag werden Funktionsprinzip und Herstellungsverfahren der wiederbeschreibbaren CD und DVD sowie einige Besonderheiten des Industriezweiges diskutiert.