Dresden 2003 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 18: Ionenstrahlverfahren I – Schichtherstellung und Schichtwachstum

DS 18.1: Talk

Thursday, March 27, 2003, 15:15–15:30, GER/37

Mechanische Spannungen in reaktiv gesputterten Übergangsmetalloxiden — •Tim Niemeier, Tom P.L. Pedersen, Robert Drese und Matthias Wuttig — I. Physikalisches Institut (IA), Lehrstuhl für Physik neuer Materialien, RWTH Aachen, 52056 Aachen

Schichten aus Übergangsmetalloxiden mit interessanten elektronischen und optischen Eigenschaften werden häufig durch reaktives Sputtern deponiert. Der Substratbeschuss mit energetischen Atomen und Ionen führt zum Autreten mechanischer Spannungen in den deponierten Schichten. Ziel unserer Untersuchungen ist ein atomistisches Verständnis der Prozesse, die zum Aufbau und zur Relaxation von Spannungen führen. Dazu wird systematisch die Abhängigkeit der Spannung von der Schichtstöchimetrie untersucht. Die auftretenden Spannungen werden mit einem atomistischen Modell verglichen.