Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 14: Poster I

HL 14.19: Poster

Montag, 24. März 2003, 17:00–19:30, HSZ/P2

Strukturuntersuchungen an MOCVD- ZnO-Schichten — •Steffi Deiter, Marco Adam, Jürgen Bläsing, Nikoley Oleynik, Anette Diez, Armin Dadgar und Alois Krost — Universität Magdeburg, Postfach 4120, D-39016 Magdeburg

MOCVD- ZnO- Schichten weisen in Abhängigkeit von den Wachstumsbedingungen (O- Precursor, Temperatur, Druck, Substrat, Trägergas, Dotierung) eine große Bandbreite struktureller Eigenschaften auf. Vorgestellt werden Beispiele sehr unterschiedlich gewachsener ZnO-Schichten deren morphologische und strukturelle Besonderheiten mittels hochauflösender Röntgenbeugung, Nomarski- und Rasterelektronenmikroskopie untersucht wurden. Dazu zählen schwammartig, nadel- oder schollenförmig, aber auch planar oder gemischt wachsende Formen, die sich in ihren kristallographischen Vorzugsrichtungen bzw. Mosaikstrukturen und inneren Spannungsverhältnissen deutlich voneinander unterscheiden.