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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuummessung

VA 1.1: Invited Talk

Monday, March 24, 2003, 10:00–10:40, HSZ105

Miniaturisierte Vakuummesssensoren - Der neue Entwicklungstrend in der modernen Vakuummesstechnik — •Stefan Wilfert¹ und Christian Edelmann² — ¹Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, Planckstr. 1, 64291 Darmstadt — ²Weisbachstr. 2, 09599 Freiberg

Infolge der rasanten Weiterentwicklung in der Mikrosystemtechnologie konnten in den vergangenen Jahren die wichtigsten der heute üblichen Druckmessprinzipien in miniaturisierten Vakuumsensoren erfolgreich umgesetzt werden. Neben den Mikro-Pirani’s sind inzwischen aus der Fachliteratur auch Ausführungen mikrostrukturierter Gasreibungs- und Kapazitätsmanometer bekannt geworden, deren Abmessungen allesamt im Milli- und teilweise auch schon im Mikrometerbereich liegen. Eine Ausnahme bei diesem Entwicklungstrend bilden die Ionisationsmanometer, die aufgrund ihres zugrundeliegenden Messprinzips offenbar nicht beliebig verkleinert werden können, ohne dass man erhebliche Nachteile in ihrer Betriebsfähigkeit in Kauf nehmen müsste. Der Vortrag gibt einen Überblick über den gegenwärtigen Entwicklungsstand ausgewählter miniaturisierter Manometertypen und zeigt Grenzen und Ursachen für die begrenzte Miniaturisierbarkeit bestimmter Totaldruckmessgeräte auf.