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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuummessung

VA 1.2: Talk

Monday, March 24, 2003, 10:40–11:00, HSZ105

Neue Vakuumsensoren: PCG — •Urs Waelchli — INFICON AG Principality of Liechtenstein

Im Bereich der Vorvakuummessung entstanden durch die Kombination von Doppelpiranisensoren und Keramischen Kapazitiven Sensoren neuartige Vakuumsensoren.

Mit dem gewählten Aufbau in durchaus makroskopischen Dimensionen, mit Piranifadenlaengen von 30mm und einem Membranduchmesser von 10mm, konnten die Aspekte Aufloesung der Messprinzipien und relative Unempflindlichkeit gegenueber Verschmutzung trotz der Kleinheit beachtet werden. Damit sind diese Messzellen so robust im industriellen Einsatz wie bisher gewohnte Systeme und bieten in der Kombination voellig neue Moeglichkeiten.

Mit Genauigkeiten im Prozentbereich und weit besserer Aufloesung koennen zuverlaessige Messungen von Druecken durchgefuehrt werden. Dies war bis anhin nur mit dem Einsatz von Prozessdrucksensoren wie klassische Keramische Membransensoren moeglich. Der Vorteil wurde letzlich immer ueber einen eingeschraenkten Messbereich erkauft. Dies ist mit den Kombinationssensoren nun ueberwunden.